【導讀】為應用選擇最合適的加速度計可能并不容易，因為來自不同制造商的數據手冊可能大相徑庭，讓人難以確定最為重要的技術指標是什么。在本文第二部分，我們將從可穿戴設備、狀態監控和物聯網應用的角度重點討論各項關鍵技術指標和特性。
可穿戴設備
關鍵指標：低功耗、小尺寸、旨在增強節能性能的集成特性以及可用性。
用于電池供電型可穿戴應用的加速度計的關鍵指標是超低功耗（通常為μA級），以確保盡量延長電池壽命。其他關鍵指標是尺寸和集成的特性，比如備用ADC通道和深度FIFO，其作用是增進終端應用的電源管理和功能性。由于這些原因，可穿戴應用中通常采用MEMS加速度計。表1所示為部分生命體征監測(VSM)應用及其在具體應用中的對應設置。用于可穿戴應用的加速度計通常可以對運動分類；檢測自由落體；測量運動是否存在以確定是使系統上電、關斷還是休眠；輔助實現數據融合，供ECG和其他VSM測量使用。同樣的加速度計也用在無線傳感器網絡和物聯網應用中，因為它們具有超低功耗的特性。
表1. VSM可穿戴應用的運動檢測要求
在為超低功耗應用選擇加速度計時，必須在數據手冊中標稱的功耗水平下觀察傳感器的功能。要觀察的一項關鍵指標是帶寬和采樣速率是否會降至無法測量可用加速度數據的水平。有些競爭產品通過每秒關斷并喚醒的方式達到維持低功耗的目的，但這樣做會錯過關鍵的加速度數據，因為有效采樣速率下降了。為了測量實時人體運動的范圍，需要大幅提高功耗。ADXL362 和 ADXL363 不會通過欠采樣混疊輸入信號；它們采用全數據速率對傳感器的整個帶寬進行采樣。功耗隨采樣速率動態變化，如圖1所示。需要注意的是，這些器件可在功耗僅為3 μA的狀態下，以最高400 Hz的速率進行采樣。在可穿戴設備中，這些較高的數據速率可實現額外的功能，如單擊/雙擊檢測。采樣速率可降至6 Hz，以便在被拾起時或者檢測到運動時設備能啟動，此時的平均功耗為270 nA。這也使ADXL362和ADXL363非常適合植入式應用，因為在這種應用中電池更換非常困難。
圖1. ADXL362電源電流與輸出數據速率的關系。
在部分應用中，加速度計每秒只需輪詢一次或幾次加速度即可。對于此類應用，ADXL362和ADXL363提供了一種喚醒模式，功耗僅為270 nA。ADXL363集成了一個三軸MEMS加速度計、一個溫度傳感器（典型比例因子為0.065°C）和一個板載ADC輸入（用于同步轉換外部信號），采用小尺寸、薄型(3 mm x 3.25 mm x 1.06 mm)封裝。加速度和溫度數據可存儲在512樣本多模FIFO緩沖器中，允許保存的數據時長高達13秒。
ADI公司開發了一款僅供演示使用的VSM手表（如圖2所示），旨在展示ADXL362等超低功耗器件在電池供電和空間受限應用中的潛力。
圖2. VSM手表（集成多款ADI器件，旨在凸顯超低功耗、小尺寸輕型產品）
ADXL362用于追蹤運動和記錄運動，幫助從其他測量結果中消除干擾偽像。
狀態監控(CBM)
關鍵指標：低噪聲、寬帶寬、信號處理、g范圍和低功耗。
CBM需要監控多項參數，比如機器振動，其目的是發現和指示可能發生的故障。CBM是預防性維護的一個重要組成部分，其技術通常用于驅動渦輪機、風扇、泵、電機等機械。CBM加速度計的關鍵指標是低噪聲和寬帶寬。在撰寫本文之時，提供3.3 kHz以上帶寬的MEMS加速度計的競爭公司非常少，有些專業制造商提供的最高帶寬為7 kHz。
隨著工業物聯網的發展，業界越來越重視減少布線和利用無線、超低功耗技術。這使得MEMS加速度計在尺寸、重量、功耗等方面領先于壓電加速度計，并且有可能實現集成智能特性。CBM中最常用的傳感器是壓電加速度計，因為這類傳感器具有良好的線性度、SNR、高溫工作性能和寬帶寬（典型范圍為3 Hz至30 kHz，有些情況下可能高達數百kHz）。然而，壓電加速度計在DC范圍下的性能欠佳（如圖3所示），因此在較低頻率至DC范圍內可能會出現大量故障，尤其是在風力渦輪機和類似的低RPM應用中。壓電傳感器的機械性質使其難以像MEMS一樣實現大批量生產，并且成本更高，在接口和電源方面的靈活性也比較低。
MEMS電容式加速度計具有更高的集成度，功能也更為豐富，支持自檢、峰值加速、頻譜報警、FFT和數據存儲，抗沖擊性能高達10000 g，具有直流響應能力，并且尺寸更小、重量更輕。ADXL354/ADXL355 和 ADXL356/ADXL357具有超低的噪聲和出色的 溫度穩定性，非常適合狀態監控應用，但其帶寬限制使其無法進行更加深入的診斷分析。然而，即便帶寬范圍有限，這些加速度計也能提供重要的測量值；例如，在設備轉速超低的風力渦輪機狀態監控中。這種情況下，需要低至直流的響應。
圖3. 轉動設備故障振動偽像。
ADXL100x系列單軸加速度計針對工業狀態監控應用而優化，測量帶寬高達50 kHz，g值范圍高達±100 g，并且擁有超低的噪聲性能——因而在性能方面可與壓電加速度計不相上下。有關ADI MEMS電容式加速度計與壓電加速度計的詳細討論請參閱以下文章：MEMS加速度計性能已臻成熟。
ADXL1001/ADXL1002的頻率響應如圖4所示。旋轉機械中發生的主要故障（如套筒軸承損壞、對準誤差、不平衡、摩擦、松動、傳動裝置故障、軸承磨損和空化）都在ADXL100x系列狀態監控加速度計的測量范圍以內。
圖4. ADXL1001/ADXL1002的頻率響應、高頻(>5 kHz)振動響應；激光振動計控制器以ADXL1002封裝為基準以提高準確性。
壓電加速度計通常不集成智能特性，而MEMS電容式加速度計（如ADXL100x系列）則集成了超量程檢測電路，當發生超過指定g值范圍約2倍的嚴重超量程事件時，該電路可報警。在智能測量和監控系統的開發中，這項功能非常關鍵。ADXL100x運用某種內部時鐘智能禁用機制來在持續發生超量程事件時保護傳感器元件，比如，電機發生故障時就會出現情況。這種方式可以減輕主機處理器的負擔，并能增加一個傳感器節點的智能化程度——這兩項都是狀態監控和工業物聯網解決方案的關鍵指標。
MEMS電容式加速度計在性能上已經取得巨大飛躍，因此，新的ADXL100x系列已經開始強力競爭并奪得以前由壓電傳感器主導的陣地。ADXL35x系列具有行業最佳的超低噪聲性能，還能取代CBM應用中的傳感器。新型CBM解決方案和模式已經開始與物聯網架構相融合，形成更好的檢測、連接及存儲與分析系統。ADI公司的最新加速度計將為邊緣節點帶來更加智能的監控，幫助工廠管理方實現完全集成的振動監控和分析系統。
對這些MEMS加速度計形成進一步補充的是第一代CBM子系統，即ADIS16227及ADIS16228半自主型全集成式寬帶寬振動分析系統（如圖5所示）；這兩款產品具有眾多特性，比如六頻段可編程報警、2級報警和故障定義設置、旨在減少誤報的可調響應延遲、帶狀態標志的內部自檢等。頻域處理包括針對各軸的512點、實數值FFT和FFT均值功能，后一功能可降低本底噪聲變化，從而提高分辨率。 ADIS16227 和 ADIS16228全集成式振動分析系統可以縮短設計時間，降低成本，降低處理器要求，減少空間限制，使其成為CBM應用的理想選擇。
圖5. 數字三軸振動傳感器，集成FFT分析和存儲系統。
物聯網/無線傳感器網絡
關鍵指標：功耗、支持智能節能和測量的集成特性、小尺寸、深度FIFO和合適的帶寬。
整個行業對物聯網的前景都心知肚明。為了實現這種前景，將來幾年需要部署數百萬計的傳感器。絕大多數這些傳感器都會被安裝在操作不便或空間受限的位置（如屋頂、街燈頂部、塔桅、橋梁、重型機械內等），以實現智能城市、智能農業、智能樓宇等概念。由于存在諸如此類限制，很可能一大部分這些傳感器需要采用無線通信和電池供電方式，也可能需要某種形式的能量采集方式。
物聯網應用的趨勢是盡量減少以無線方式傳輸至云端或本地服務器進行存儲和分析的數據，因為現有方法需要很高的帶寬并且成本較高。通過在傳感器節點進行智能處理，可以把無用數據與有用數據區分開，減少傳輸大量數據的必要性，從而降低帶寬和成本要求。這就要求傳感器具備智能特性，同時還要維持超低的功耗水平。標準物聯網信號鏈如圖6所示。在網關以外，ADI公司可為各個模塊提供解決方案。請注意，并非所有解決方案都需要無線連接，對于眾多應用來說，有線解決方案仍有必要，無論是RS-485接口，4 mA至20 mA，還是工業以太網等。
使節點具備一定的智能之后，就可以通過信號鏈只傳輸有用的數據——節省電能和帶寬。在CBM中，在傳感器節點局部完成的處理量取決于多個因素，如機器的成本和復雜性與狀態監控系統的成本。傳輸的數據從簡單的超范圍報警到數據流不盡相同。ISO10816等標準規定了相應的報警條件，當給定尺寸的機器以特定RPM轉速運行時，如果振動速度超過預設閾值，機器就會輸出報警信號。ISO 10816的目的是優化被測系統及其滾動軸承的有效壽命，因此需要減少傳輸的數據量，從而為在WSN架構中的部署提供更好的支持。
對于用在ISO 10816應用中的加速度計，要求其g值范圍為50g或以下并在低頻下保持低噪聲，因為系統會周期性地把加速度數據整合起來，以形成以mm/sec rms為單位的單一速度點。當整合含有低頻噪聲的加速度計數據時，速度輸出中的誤差可能會線性增大。ISO標準規定的測量范圍為1 Hz至1 kHz，但用戶都希望整合低至0.1 Hz的數據。傳統上，在電荷耦合壓電加速度計中，這受到了低頻高噪聲水平的限制，但ADI下一代加速度計能使本底噪聲最低保持在直流水平，只受信號調理電子器件1/f的噪聲轉折頻率的限制，通過細心的設計可使該值降至0.01 Hz。MEMS加速度計既可以用在面向低成本設備的經濟型CBM應用中，也可以整合到嵌入式解決方案之中，因為與壓電傳感器相比，它們的尺寸更小、成本更低。
圖6. ADI公司的邊緣傳感器節點解決方案。
ADI公司廣泛的加速度計產品是要求超低功耗的智能傳感器節點的理想選擇，其中集成多種特性，有助于延長電池壽命、減少帶寬用量并因此降低成本。物聯網傳感器節點的部分關鍵指標有低功耗（ADXL362、ADXL363）和豐富的特性集合，以實現能量管理和特定數據檢測，如過閾值活動、譜線輪廓報警、峰值加速值和超長活動或非活動（ADXL372、ADXL375）。
在把加速數據存儲在FIFO中并檢查是否存在活動事件時，所有這些加速度計都能使整個系統處于關斷狀態。發生沖擊事件時，事件發生前收集的數據被凍結在FIFO中。如果沒有FIFO，如果要在事件發生之前捕捉樣本，就要求處理器連續采樣并處理加速信號，結果會大幅縮短電池壽命。ADXL362和ADXL363 FIFO可以存儲超過13秒的數據，因而能清楚展示活動觸發之前發生的事件。不使用功率占空比，而是在所有數據速率下均采用全帶寬架構，由此防止輸入信號混疊，從而維持超低功耗。
資產狀況監控
關鍵指標：功耗、支持智能節能和測量的集成特性、小尺寸、深度FIFO和合適的帶寬。
資產狀況監控(AHM)一般指在一定時間內對高價值資產進行監控，無論是在靜止狀態或還是在運輸途中。這些資產可能是船運集裝箱里的貨物、遠程管道、平民、戰士、高密度電池等，此類資產容易受到撞擊或沖擊事件的影響。對于可能影響資產功能性或安全性的此類事件，物聯網提供了一種理想的報告基礎設施。對于AHM中使用的傳感器，關鍵指標是能測量與資產相關的高g 沖擊及沖擊事件并同時保持超低功耗。當把這類傳感器嵌入電池供電或便攜式應用中時，要考慮的其他關鍵傳感器指標包括尺寸、過采樣和旨在精確處理高頻成分的抗混疊特性，還有各種智能特性，以通過增加主機處理器休眠時間并允許用中斷驅動算法檢測和捕獲沖擊特性延長電池壽命。
ADXL372微功耗型±200 g MEMS加速度計可滿足新興資產狀況監控市場對智能物聯網邊緣節點的需求。該器件含有專門針對資產狀況監控市場開發的多項獨有特性，可簡化系統設計，并在系統層次實現節能目的。高g事件（如沖擊或撞擊）通常與較寬頻率下的加速度成分密切相關。要準確捕獲這些事件，需要寬帶寬，因為在帶寬不足的條件下進行測量會顯著降低記錄事件的幅度，導致錯誤。在數據手冊中這是要特別注意的一項關鍵參數。有些器件達不到奈奎斯特采樣速率標準的要求。ADXL375和ADXL372提供捕獲整個沖擊特性的選項，可用于進一步分析而無需主機處理器干預。使用沖擊中斷寄存器并結合加速度計的內部FIFO，可實現該功能。如圖7所示，為了在觸發事件之前確定沖擊特性，有充足FIFO非常重要。如果FIFO不足，就無法記錄和維持沖擊事件以供進一步分析。
圖7. 準確捕獲沖擊特性。
ADXL372的工作帶寬可在超低功耗水平下達到3200 Hz。陡峭的濾波器滾降也有利于有效抑制帶外成分，為此，ADXL372集成了一個四極低通抗混疊濾波器。如果沒有抗混疊濾波，凡是頻率超過輸出數據速率一半的輸入信號都會混疊進目標測量帶寬，導致測量誤差。該四極低通濾波器提供用戶可選濾波器帶寬，因而可為用戶應用帶來極大的靈活性。
借助即時導通沖擊檢測特性，用戶可以對ADXL372進行配置，使其能在超低功耗模式下捕獲高于特定閾值的沖擊事件。如圖8所示，在發生沖擊事件之后，加速度計會進入全測量模式，以便準確地捕獲沖擊特性。
圖8. 默認閾值下的即時導通模式。
有些應用要求只記錄來自沖擊事件的峰值加速樣本，因為此類樣本本身就能提供充足的信息。ADXL372 FIFO可以為每個軸存儲峰值加速樣本。FIFO中可以存儲的最長時長為1.28秒（400 Hz ODR條件下，512個單軸樣本）。3200 Hz ODR條件下的170個3軸樣本相當于一個50 ms的時間窗口，足以捕獲到典型的沖擊波形。對于不要求完整事件特性的應用，通過只存儲峰值加速信息，可以大幅增加FIFO讀取操作之間的時間，從而實現進一步節能。512個FIFO樣本可以通過多種方式分配，包括下列方式：
- 并行3 軸數據的170 個樣本集
- 并行2 軸數據的256 個樣本集（用戶可選）
- 單軸數據的512 個樣本集
- 170 個沖擊事件峰值集(x, y, z)
適當使用FIFO，使主機處理器能在加速度計自主收集數據時長時間保持休眠，可以降低系統級功耗。或者，使用FIFO收集數據可以減輕主機處理器的負荷，使它能處理其他任務。
市場上還有其他幾款具有類似高g性能的加速度計，但它們不適合AHM/SHM物聯網邊緣節點應用，因為它們的帶寬較窄，功耗較高。在提供低功耗模式的情況下，無法進行準確測量的一般都是低帶寬。ADXL372真正實現了即用即忘的AHM/SHM實施模式，促使最終客戶在可行的情況下重新考慮潛在資產類別。
結論
ADI公司提供面向多種應用的廣泛加速度計產品，其中有些產品未在本文中重點討論，比如航位推算、AHRS、慣性測量、汽車穩定和安全、醫療對準等。我們的新一代MEMS電容式加速度計非常適合要求低噪聲、低功耗、高穩定性和溫度穩定性的應用；具有低補償的特性，并且集成眾多智能特性，可提升系統整體性能并降低設計復雜度。ADI公司提供所有相關數據手冊信息，旨在幫助您為您的應用選擇最合適的器件。以上列出的所有器件以及其他器件均可供評估和原型制作使用。更多信息，請訪問：analog.com/MEMS 。
參考電路
Broeders, Jan-Hein. “從可穿戴設備過渡到醫療設備，”ADI公司，2017年。
Scannel, Bob. “嵌入式智能和通信可實現可靠且連續的振動監控，”ADI公司，2015年。
Spence, Ed. “關于狀態監控的MEMS加速度計您需要知道哪些，”ADI公司，2016年。
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