【導讀】九軸傳感器、九軸體感追蹤、感測芯片……越來越多的VR在都在宣傳“九軸傳感器”的概念，這似乎成了VR硬件的新標。所謂九軸傳感器，其實三種傳感器的組合：3軸加速傳感器、3軸陀螺儀和3軸電子羅盤（地磁傳感器）。三個部分作用不同，相互配合，是我們手機、平板電腦、游戲機等電子產品中常用的運動感測追蹤元件，應用于各類軟件、游戲中的交互控制。
三種傳感器
①加速傳感器
加速傳感器是測量空間中各方向加速度的。它利用一個“重力塊”的慣性，傳感器在運動的時候，“重力塊”會對X、Y、Z方向（前后左右上下）產生壓力，再利用一種壓電晶體，把這種壓力轉換成電信號，隨著運動的變化，各方向壓力不同，電信號也在變化，從而判斷手機的加速方向和速度大小。比如你突然把手機往前推，傳感器就知道你是在向前加速了。
加速傳感器廠家：精量電子(TE Sensors）、Colibrys、 蘇州明皜（MiraMEMS） Kionix（被Rohm收購）、河北美泰（MT Microsystems）、上海矽睿（QST）、Silicon Designs、 矽創電子(Sitronix) 、MCUBE(砂立)等。
②陀螺儀
陀螺儀是一種用于測量角度以及維持方向的設備，在飛行游戲，體育類游戲和第一視角類射擊等游戲中，可以完整監測游戲者手的位移，從而實現各種游戲操作效果。下圖是一個最基礎的機械陀螺儀模型，中間金色的轉子在整個儀器的運動中，它因為慣性作用不受影響，而周邊三個“鋼圈”則會因為設備改變姿態而改變，通過這樣來檢測設備當前的旋轉狀態。
其實，在我們的手機等電子產品中的陀螺儀并不長這個樣子。它和加速傳感器一樣也是一個微電子元件，利用科里奧利力，通過連續震動的振子在旋轉系統中的運動偏移，改變電路狀態，引起相關電參數的變化，從而可以反映出左右傾斜、前后傾斜和左右搖擺等運動情況。
什么是科里奧利力？假設在一個逆時針轉動的圓盤中央O點有個運動員（O點不動），要把籃球傳給站在邊緣A點的另一個運動員，當他沿OA直線方向投球后，A點的運動員會發現籃球向右偏轉，最終落在A''點。以轉動的圓盤為參照系，籃球仿佛受到一股向右的力，從而發生偏移，這個力就稱為科里奧利力。
陀螺儀廠家：意法半導體(ST)、應美盛(InvenSense)、羅伯特.博世、亞德諾半導體（Analog Devices）、松下（Panasonic）、村田制作所（Murata）、精量電子(TE Sensors）、索尼（Sony）、Epson 、深迪半導體（Senodia）、水木智芯（TuMEMS）、Colibrys 、蘇州明皜（MiraMEMS）、河北美泰（MT Microsystems）、上海矽睿（QST）、Silicon Designs 、MCUBE(砂立)、耐威科技（代工）等。
③電子羅盤（地磁傳感器、地磁計）
利用加速傳感器和陀螺儀，基本可以描述設備的完整運動狀態。但是隨著長時間運動，也會產生累計偏差，不能準確描述運動姿態，比如操控畫面發生傾斜。電子羅盤（地磁傳感器）利用測量地球磁場，通過絕對指向功能進行修正補償，可以有效解決累計偏差，從而修正人體的運動方向、姿態角度、運動力度和速度等。
地磁傳感器廠家：AKM、朗格（Allegro MicroSystems）、微開（Micronas Semiconductor）、邁來芯（Melexis）、江蘇多維科技（dowaytech）、愛知制鋼（AichiSteel）、Amotech 、、蘇州明皜、華工科技（代工）等。
三軸傳感器
①三軸陀螺儀
三軸陀螺儀:同時測定6個方向的位置，移動軌跡，加速。 單軸的只能測量兩個方向的量，也就是一個系統需要三個陀螺儀，而3軸的一個就能替代三個單軸的。
優點：三軸陀螺儀體積小、重量輕、結構簡單、可靠性好、更靈敏、更準確。
②三軸加速度計
三軸加速度計是基于加速度的基本原理去實現工作的，加速度是個空間矢量，一方面，要準確了解物體的運動狀態，必須測得其三個坐標軸上的分量;另一方面，在預先不知道物體運動方向的場合下，只有應用三軸加速度傳感器來檢測加速度信號。由于三軸加速度傳感器也是基于重力原理的，因此用三軸加速度傳感器可以實現雙軸正負90度或雙軸0-360度的傾角，通過校正后期精度要高于雙軸加速度傳感器大于測量角度為60度的情況。
優點：三軸加速度傳感器的好處就是在預先不知道物體運動方向的場合下，只有應用三維加速度傳感器來檢測加速度信號。三維加速度傳感器具有體積小和重量輕特點，可以測量空間加速度，能夠全面準確反映物體的運動性質。
③三軸地磁計
三軸地磁計，又稱電子羅盤，在無人機、智能手表、導航設備中廣泛普及和應用。針對需要偵測物體運動變化情況，三軸磁傳感器承載著至關重要的絕對指向作用，為穩定飛行、輔助導航等多樣化功能保駕護航。也正如此，三軸磁傳感器的可靠性是這些裝置穩定運作的基石。
六軸傳感器
六軸傳感器通常指的是三軸陀螺儀+三軸加速度計。
六軸傳感器廠家：
- 應美盛：ICM-20608、MPU-6555、MPU-6500、MPU-6000、MPU-6050......HTC Vive VR和Oculus Rift VR上就采用了MPU-6500
- ST：6軸傳感器模塊LSM330DL......
- 飛兆：6軸慣性檢測單元（IMU）“FIS1100”。FIS1100由3軸MEMS角速度傳感器（陀螺儀）、3軸MEMS加速度傳感器及動作處理用協處理器“AttitudeEngine”構成。
九軸傳感器
九軸傳感器通常指的是三軸陀螺儀+三軸加速度計+三軸地磁計，也有六軸加速度傳感器+三軸陀螺儀的，也有六軸陀螺儀+三軸加速度計的。
所謂九軸傳感器，其實三種傳感器的組合：3軸加速傳感器、3軸陀螺儀和3軸電子羅盤（地磁傳感器）。三個部分作用不同，相互配合，是我們手機、平板電腦、游戲機等電子產品中常用的運動感測追蹤元件，應用于各類軟件、游戲中的交互控制。
九軸傳感器作為集成化傳感器模塊，減少了電路板和整體空間，更適合用在輕巧便攜的電子設備和可穿戴產品中。集成化傳感器的數據準確度除了器件本身的精度外，還涉及到焊接裝配后的矯正，以及針對不同應用的配套算法。合適的算法可以將來自多種傳感器的數據融合，彌補了單個傳感器在計算準確的位置和方向時的不足，從而實現高精度的運動檢測。
九軸傳感器廠家有：
應美盛：MPU-9255、MPU-9250、MPU-9150......
MPU-9250（三軸陀螺儀+三軸加速度計+三軸地磁計）
InvenSense的MPU-9250九軸組合傳感器內部的陀螺儀+加速度傳感器
Inven Sense最新的九軸組合傳感器集成了新款三軸陀螺儀，采用單一種振動結構，取代前一代傳感器采用三種不同結構的方法。這種新設計讓三軸陀螺儀功能區域尺寸縮減了40%。該元件也集成了新的三軸磁傳感器，其功能面積亦較前一代縮減了40%左右。
博世：BMX160、BMX055......
BMX160（三軸陀螺儀+三軸加速度計+三軸地磁計）
博世9軸動作傳感器“BMX160”。這是將3加速度傳感器、3軸角速度傳感器及3軸地磁傳感器集成于1個封裝內的9軸傳感器，尺寸為2.5mm×3.0mm×0.95mm，采用14針LGA封裝。適于可穿戴終端及智能手機的VR（虛擬現實）應用等安裝面積及耗電量存在限制的用途。
BMX055（三軸陀螺儀+三軸加速度計+三軸地磁計）
Bosch Sensortec的BMX055九軸組合傳感器內部的三軸磁傳感器
意法半導體：LSM9DS0（六軸陀螺儀+三軸加速度計）......
ST的LSM9DS0九軸組合傳感器內部的加速度傳感器+陀螺儀
ST的組合傳感器在一顆MEMS單芯片上結合六軸陀螺儀+加速度傳感器，使得此六軸功能的尺寸比先前采用兩顆裸晶的方案縮小了30%以上。該款傳感器采用玻璃熔融鍵合；但ST也會采用金-金熱壓鍵合來密封部分MEMS裸芯片，以免除密封框的采用并縮小芯片面積。
應美盛、博世、ST這三家MEMS傳感器供應商擁有非常不同的供應鏈。Bosch與ST主要是靠自家晶圓廠生產，Bosch僅有生產ASIC元件時會委托代工廠，而ST則向Honeywell采購磁傳感器芯片。至于InvenSense則是一家無晶圓廠公司，委托多個不同代工伙伴制造、封裝組合傳感器。
AKM是Inven Sense的磁傳感器晶片供應商，而有多個晶圓代工廠為Inven Sense生產六軸加速度傳感器+陀螺儀傳感器與ASIC，而元件的封裝測試則是委托其他專業封測廠。Inven Sense只有負責傳感器的設計與測試。
而盡管基本上所采用的生產模式大不相同，這三家廠商的九軸IMU成本卻非常相近；雖然Inven Sense所采用的晶片數量明顯比較少，由于其元件生產委托許多不同的代工廠，也會帶來一些額外的成本。以下是三款組合傳感器的成本結構。
九軸傳感器模塊廠家：
飛兆（Fairchild）：9軸慣性模塊“FMT1000系列”，由FIS1100（前面有介紹）外加3軸磁傳感器、控制整體的MCU（意法半導體的基于ARM Cortex-M4的STM32）及晶振元件等組成。可用于機器人及無人機等廣泛的工業設備。
FMT1000
微芯：9軸動作檢測模塊“MM7150”。MM7150配備博世的三軸加速度傳感器和三軸磁傳感器的混載IC“BMC 150”、博世的三軸陀螺儀IC“BMG 160”，以及微芯的動作信號處理器IC“SSC7150”。模塊尺寸僅17mm×17mm。采用單面封裝，可嵌入多種設備中。可用于機器人吸塵器、工業機器人、健康器械（理療）、遙控器及可穿戴設備等。
推薦閱讀：
