【導(dǎo)讀】全球半導(dǎo)體巨頭意法半導(dǎo)體（ST）宣布擴大新加坡"廠內(nèi)實驗室"（Lab-in-Fab）項目，聯(lián)合科技研究局微電子研究所 (A*STAR IME)、愛發(fā)科（ULVAC）、新加坡科技研究局材料研究與工程研究所 (A*STAR IMRE) 及新加坡國立大學(xué)（NUS），共同推進(jìn)壓電MEMS技術(shù)開發(fā)。
● 新一期廠內(nèi)實驗室合作項目包括與新加坡科技研究局屬下材料研究與工程研究所 (A*STAR IMRE) 以及新加坡國立大學(xué) (NUS)的合作項目
● 此為新加坡半導(dǎo)體行業(yè)迄今為止最大的公私研發(fā)合作項目之一
● 專注于推進(jìn)壓電 微電機系統(tǒng)（MEMS） 技術(shù)產(chǎn)品在個人電子產(chǎn)品、醫(yī)療設(shè)備等領(lǐng)域的應(yīng)用
2025年5月29日，中國--全球半導(dǎo)體巨頭意法半導(dǎo)體（ST）宣布擴大新加坡"廠內(nèi)實驗室"（Lab-in-Fab）項目，聯(lián)合科技研究局微電子研究所 (A*STAR IME)、愛發(fā)科（ULVAC）、新加坡科技研究局材料研究與工程研究所 (A*STAR IMRE) 及新加坡國立大學(xué)（NUS），共同推進(jìn)壓電MEMS技術(shù)開發(fā)。
該計劃將有助于推進(jìn)環(huán)保型無鉛壓電材料的應(yīng)用，為傳感器和執(zhí)行器實現(xiàn)高成本效益和微型化賦能。高等院校、初創(chuàng)企業(yè)、中小企業(yè)和跨國公司能夠利用整套生產(chǎn)線加快新型壓電微機電系統(tǒng)器件的市場轉(zhuǎn)化。生產(chǎn)的樣片預(yù)計將用于包括 3D投影和成像的壓電微機械超聲換能器，個人電子產(chǎn)品的微型揚聲器，以及用于智能手機攝像頭模塊的自動對焦裝置。
意法半導(dǎo)體模擬、功率分立器件、MEMS 和傳感器產(chǎn)品部門（APMS）副總裁及中央研發(fā)總經(jīng)理 Anton Hofmeister表示：“我們很高興能夠推進(jìn)這項合作計劃，歡迎新加坡科技研究局材料研究與工程研究所和新加坡國立大學(xué)加入廠內(nèi)實驗室計劃2.0的新項目研發(fā)。這項計劃將推動壓電 MEMS 技術(shù)的創(chuàng)新，并支持下一代器件的市場轉(zhuǎn)化。”
新加坡科技研究局創(chuàng)新與企業(yè)副局長Yeo Yee Chia教授表示：“我們正在深化和拓展與重要且具備創(chuàng)新材料、工具和工藝模塊的供應(yīng)商，以及技術(shù)開發(fā)、設(shè)計和制造企業(yè)的合作關(guān)系，并在研發(fā)成果的市場轉(zhuǎn)化方式上探索創(chuàng)新。這種合作方式將加快下一代采用環(huán)保無鉛材料的節(jié)能壓電MEMS器件的市場轉(zhuǎn)化，同時鞏固新加坡在全球半導(dǎo)體價值鏈中的地位。”
愛發(fā)科設(shè)備業(yè)務(wù)總部先進(jìn)電子設(shè)備部執(zhí)行官兼總經(jīng)理 Harunori Iwai 表示：“我們很榮幸能夠參與這一開創(chuàng)性的合作計劃，為壓電 MEMS 行業(yè)貢獻(xiàn)我們在制造技術(shù)解決方案方面積累的知識經(jīng)驗。”
廠內(nèi)實驗室計劃早已于 2020 年落地，立項的目的是開發(fā)一種通過物理氣相沉積 (PVD)方式生長鋯鈦酸鉛 (PZT)薄膜的方法。與傳統(tǒng)的體壓電技術(shù)相比，物理氣相沉積方法顯著降低了鉛含量。這項目的的成功促使了本次的深入廣泛的合作。
除壓電微電解系統(tǒng)MEMS外，新加坡的技術(shù)研發(fā)重點領(lǐng)域還包括異構(gòu)整合先進(jìn)封裝；碳化硅、氮化鎵等寬帶隙半導(dǎo)體；毫米波射頻等技術(shù)；平面光學(xué)元件、光子異構(gòu)集成等先進(jìn)光子技術(shù)。這些重點領(lǐng)域已列入新加坡科技研究創(chuàng)新與企業(yè)2025規(guī)劃（RIE 2025），旨在促進(jìn)新加坡發(fā)展成為創(chuàng)新驅(qū)動的經(jīng)濟社會。
廠內(nèi)實驗室是新加坡半導(dǎo)體生態(tài)系統(tǒng)的重要參與者，致力于促進(jìn)與傳感器和執(zhí)行器公司、制造企業(yè)及其供應(yīng)商的合作，基于廠內(nèi)實驗室的先進(jìn)材料和器件平臺，為國內(nèi)外高等院校提供多項目晶圓流片服務(wù)，同時還提供大學(xué)生實習(xí)和博士生研究機會，以擴大本地和全球壓電 MEMS人才儲備。
作為全球領(lǐng)先的MEMS供應(yīng)商，二十多年來，意法半導(dǎo)體在 MEMS 市場中占據(jù)著舉足輕重的地位，利用自身的垂直整合制造(IDM) 業(yè)務(wù)模式，為客戶提供芯片設(shè)計制造一條龍服務(wù)。
意法半導(dǎo)體是首批在新加坡投資建廠的半導(dǎo)體公司，而廠內(nèi)實驗室則是意法半導(dǎo)體宏茂橋園區(qū)的一項重要資產(chǎn)，完善了園區(qū)當(dāng)前的大規(guī)模制造業(yè)務(wù)，并為新加坡半導(dǎo)體制造生態(tài)系統(tǒng)的發(fā)展做出了貢獻(xiàn)。
主要利益相關(guān)者的評價
David Horsley教授（Northeastern University電氣與計算機工程系教授）：
“廠內(nèi)實驗室模式解決了業(yè)界通常面對的應(yīng)力控制與蝕刻等常見問題，這樣，研究人員就能夠?qū)Ｗ⒂谧约旱墓ぷ鳎鵁o需做重復(fù)性的無用功。”
Fang Weileun教授（National Tsing Hua University 講座教授）：
“廠內(nèi)實驗室讓學(xué)術(shù)團體甚至初創(chuàng)企業(yè)能夠開發(fā)自己的芯片，并且更容易實現(xiàn)量產(chǎn)。”
Lu Yipeng副教授（北京大學(xué)集成電路學(xué)院副教授）：
“廠內(nèi)實驗室項目對壓電微電機MEMS技術(shù)的發(fā)展影響很大，公私科研合作讓我們能夠取得單靠自身力量無法實現(xiàn)的突破。我們很榮幸加入這個創(chuàng)新的生態(tài)系統(tǒng)。”
Shuji Tanaka教授（Tohoku University機器人系教授）：
“在開發(fā)過程中擁有更大的自由度，研發(fā)周期也更短。”
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